旭化成、AIサーバー向け微細配線形成可能な新規感光性ドライフィルム「サンフォート TAシリーズ」を開発
■半導体パッケージの微細化に対応、LDI露光で1.0μm幅パターンを実現 旭化成<3407>(東証プライム)は5月26日、AIサーバー向け半導体パッケージ製造工程向けに新規感光性ドライフィルム「サンフォート TAシリーズ」を開発したと発表。この製品はLDI(レーザーダイレクトイメージング)露光機とStepper露光機の両方に対応し、1.0μm幅の微細パターン形成を可能にする。再配線層(RDL)形成に必要な4µmピッチデザインにおいて、従来の液状レジストに比べ取り扱いが簡便なド..