レーザーテック、次世代EUV向け欠陥検査装置「M9750/M9751」を発表
■高感度・高スループットの新型マスク検査装置を製品化 レーザーテック<6920>(東証プライム)は12月8日、次世代半導体向けEUVマスクブランクスおよびサブストレートの欠陥検査・レビュー装置「MAGICS」シリーズの新製品「M9750/M9751」を発表した。従来機に比べ高感度化と高スループット化を両立した最新鋭機として製品化した。 同シリーズは業界標準機として出荷検査や受入検査、プロセス管理に活用されてきた。微細化が進むEUVマスク分野の新構造に対応するため、検査光学系を..