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大日本印刷、最先端半導体向け10nmテンプレート開発、省電力製造に貢献

■先端ロジック半導体の微細化ニーズに対応、2027年量産開始を目指す 大日本印刷<7912>(東証プライム)は12月9日、ナノインプリントリソグラフィ(NIL)向けに、1.4ナノメートル世代相当の最先端ロジック半導体にも対応可能な回路線幅10nmのテンプレートを開発したと発表した。同テンプレートは、NAND型フラッシュメモリーに加え、スマートフォンやデータセンター向け先端ロジック半導体の微細化ニーズに対応する。 先端半導体分野では、EUVリソグラフィによる生産が進む一方、設備..