エア・ウォーター、Rapidus社の最先端半導体工場向け「CMPスラリー調合・供給システム」を受注
■半導体製造の自動化・安定供給を支援 エア・ウォーター<4088>(東証プライム)は8月26日、Rapidusが北海道千歳市に建設中の最先端半導体工場「IIM-1」向けに、「CMPスラリー調合・供給システム」を受注したと発表。このシステムは、スラリーの濃度や粒子径を高精度に調合し、安定的に供給する機能を持つ。2006年から米国企業との提携に基づく技術を活かして設計・製造され、多数の実績を持つ。 今回の受注は、半導体工場向け供給システムの導入実績と、自動化技術を組み合わせた安定..