「2023年10月」一覧
キヤノンはナノインプリント半導体製造装置を発売、シンプルな仕組みで微細な回路パターン形成を実現
キヤノン＜７７５１＞（東証プライム）は、半導体デバイスの製造で最も重要な回路パターンの転写を担うナノインプリント半導体製造装置“ＦＰＡ－１２００ＮＺ２Ｃ”を２０２３年１０月１３日に発売すると発表した。この装置は、光学系を介さずにマスク（型）をレジスト（樹脂）に押し付けてパターンを形成するナノインプリントリソグラフィ（ＮＩＬ）技術を使用しており、最先端から従来の半導体デバイスまでの幅広い用途に対応できる。■ＮＩＬ技術の特徴とメリット ＮＩＬ技術は、マスク上の微細な回路パターン..